Taiko大晃真空泵BEH-300
發(fā)布時間：2019.03.09
TAIKO螺桿式干式真空泵，是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵，它低速轉動連續(xù)排氣，真空度可達到１０-1Pa，它可稱為是劃時代的干式真空泵。實現(xiàn)了極限真空度的極底泵浦轉速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點是可以快速地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，大量用于半導體，液晶，太陽能電池，醫(yī)藥，化工等真空行業(yè)。單級結構簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應生成物的半導體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領域也發(fā)揮著威力。
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日本Taiko大晃干式螺桿真空泵
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