TAIKO螺桿式干式真空泵，是采用自主研發(fā)螺桿線性的干式真空泵，它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa，它可稱為是劃時(shí)代的干式真空泵。實(shí)現(xiàn)了極限真空度的極底泵浦轉(zhuǎn)速.從吸氣起到排氣采用非接觸單段壓縮，其特點(diǎn)是可以快速地排除空氣或煤氣中所含有的粉塵霧粒，大量用于半導(dǎo)體，液晶，太陽(yáng)能電池，醫(yī)藥，化工等真空行業(yè)。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。